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非接触式3D显微镜-Sensofar

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一.产品介绍

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二.测量原理



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共聚焦技术总结:

共聚焦轮廓提(ti)供最高(gao)的(de)横向分辨率(lv),最高(gao)可(ke)达 0.15μm 线条(tiao)和空间(jian),空间(jian)采样(yang)可(ke)减少到 0.01μm,这是关键尺寸(cun)测(ce)量(liang)的(de)理想(xiang)选择。高(gao) NA (0.95) 和放大倍率(lv) (150X) 的(de)物镜可(ke)用于测(ce)量(liang)局(ju)部斜率(lv)超过 70°的(de)光滑表(biao)面。对于粗糙(cao)表(biao)面,最高(gao)可(ke)允(yun)许(xu)86°

  • 最佳(jia)的横向分辨(bian)率:300 nm

  • 斜率高达 70º(光滑表面) 和 86º(粗糙表面) 

  • 连续共聚(ju)焦(jiao):速度堪比Ai多焦(jiao)面叠加 

  • 高(gao)重复性,低(di)至 1 nm 的系统噪(zao)声(sheng)

  • 从 1.5 μm 到数毫(hao)米的厚度测量(liang)

  • 最高程度的灵活性,适用样品重(zhong)量多(duo)样

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干涉技术总结:

采用干涉法(fa),3D 测(ce)量能(neng)以最(zui)大(da)精度(du)(du)进行。可沿(yan) Z 轴扫描(miao),在(zai)整个样(yang)本上获得条纹,分别从(cong) PSI 或(huo) CSI 的干涉图强度(du)(du)或(huo)相(xiang)位获取高度(du)(du)信息(xi),用获取的不(bu)同像素的高度(du)(du)重新构建(jian) 3D 图像。

带纳米系统噪声的(de)大视场,无论物镜(jing)如何  

PSI:可达 0.01 nm

CSI:可达 0.1nm

从(cong) 1.5 μm 至 100 μm的厚度测量(liang)


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三.产品参数对比



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中翰仪器测定部

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电   话: 010-62553066
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测量(liang)部:400-172-5117

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